专利名称:用于半导体测试系统的电源电流测量单元专利类型:发明专利发明人:菅森茂
申请号:CN01110514.3申请日:20010405公开号:CN1320824A公开日:20011107
摘要:一种用于半导体测试系统中的电源电流测量单元,包括:D/A转换器,基于接受的数字信号,产生供给被测器件的电源电压;运算放大器,用于形成负反馈回路并把电源电压供给被测器件,由此通过电阻器,把电源电流提供给电源引线;电压放大器,用于放大代表电源电流量的电压;积分电路,用于在预定积分时间内对电压放大器的输出信号进行积分;A/D转换器,用于在积分时间之后,转换积分电路的输出信号。该单元能对被测器件的电源电流进行高速、准确地测试。
申请人:株式会社鼎新
地址:日本东京
国籍:JP
代理机构:永新专利商标代理有限公司
代理人:蹇炜
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