一种透明材料上高深径比微孔重铸层的测量装置及方法[发明专利]

来源：六九路网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：一种透明材料上高深径比微孔重铸层的测量装置及

方法

专利类型：发明专利发明人：姜澜,李晓炜,刘洋申请号：CN201510300709.8申请日：20150603公开号：CN105158207A公开日：20151216

摘要：本发明涉及一种透明材料上高深径比微孔重铸层的测量装置及方法，属于光学测量技术领域。其中测量仪器包括线性相干光源、起偏装置、缩束装置、扩束装置、检偏装置、光强检测器以及数据处理计算机。在加工时，透明材料被加工区域的材料晶格结构及密度会发生变化。因而加工影响区域的光学性质(如折射率)会发生改变。通过测量微孔孔壁附近材料折射率的改变，可以得知重铸层的厚度和折射率变化。本发明所提及的透明材料上微孔重铸层测量方法在微孔加工领域研究、微孔加工工艺改进和微孔应用研究等方面都有广泛应用。本发明可以实现对透明材料上微孔重铸层进行精确测量。

申请人：北京理工大学

地址：100081 北京市海淀区中关村南大街5号北京理工大学

国籍：CN

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