专利名称：MEMS麦克风专利类型：实用新型专利发明人：朱佳辉
申请号：CN201520524404.0申请日：20150717公开号：CN204836576U公开日：20151202
摘要：公开了一种MEMS麦克风，包括：基板，外壳，所述外壳和所述基板形成腔体，所述腔体包括适于接收声信号的进音孔；以及设置在所述腔体内的MEMS传感器和集成电路芯片，其中，所述集成电路芯片倒装安装在所述基板上，所述MEMS传感器通过金属线电连接所述基板，并通过基板电连接所述集成电路芯片。通过集成电路芯片倒装，减少了金属线，降低了对集成电路芯片的电气干扰，不需要在集成电路芯片上涂覆封装胶，降低了工艺复杂度。
申请人：北京卓锐微技术有限公司
地址：100191 北京市海淀区知春路23号量子银座1002室
国籍：CN
代理机构：北京成创同维知识产权代理有限公司
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