一种金属有机化合物容器[实用新型专利]

来源：六九路网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：一种金属有机化合物容器专利类型：实用新型专利

发明人：邱树添,吴洪浩,徐志军,谢祥彬,张家宏,卓昌正,林兓

兓,谢翔麟

申请号：CN201420461515.7申请日：20140815公开号：CN204022936U公开日：20141217

摘要：本实用新型公开了一种金属有机化合物容器，包括：瓶体、瓶体顶部、瓶体底部，所述瓶体顶部置有加料口、进气管和出气管，所述瓶体内置有一隔板，将瓶体内腔分为腔室Ⅰ和腔室Ⅱ，所述进气管与出气管延伸入腔体内部与腔室Ⅰ联通，进气管管口延伸入瓶体底部，出气管管口位于瓶体上部；所述腔室Ⅱ中置有压力施加体。本实用新型旨在解决源体减少时载气与源接触不充分造成源饱和蒸汽压不稳定的技术难题；且减少源体剩余量，提高单瓶源的利用率，减少生产成本。

申请人：安徽三安光电有限公司

地址：241000 安徽省芜湖市经济技术开发区东梁路8号

国籍：CN

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