一种激光外差干涉测量光束的自聚焦装置[实用新型专利]

来源：六九路网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：一种激光外差干涉测量光束的自聚焦装置专利类型：实用新型专利发明人：朱军平,刘挺

申请号：CN201320048271.5申请日：20130129公开号：CN203101711U公开日：20130731

摘要：本实用新型公开一种激光外差干涉测量光束的自聚焦装置，包括激光器，所述激光器的光束射出端设置有对角设置的第一分光棱镜、第二分光棱镜和第一直角棱镜、第二直角棱镜，所述第一分光棱镜和第二分光棱镜设置于同一对角线上，所述第一直角棱镜和第二直角棱镜设置于同一对角线上，从所述第二分光棱镜出射的测量激光束穿过预置位电动镜头。通过用带预置位功能的电动镜头作激光聚焦的光学元件，满足人为操作不允许的环境下的自聚焦要求，提高激光聚焦动作的效率和准确性。

申请人：苏州舜新仪器有限公司

地址：215104 江苏省苏州市吴中区吴中大道1368号吴中科技园A楼537室

国籍：CN

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