一种CN薄膜的复合制备方法[发明专利]

来源：六九路网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：一种CN薄膜的复合制备方法专利类型：发明专利

发明人：彭寿,沈洪雪,姚婷婷,杨勇,李刚申请号：CN201810560537.1申请日：20180604公开号：CN1087421A公开日：20181106

摘要：本发明公开一种CN薄膜的复合制备方法，包括以下步骤：S1、清洗衬底，去除衬底表面杂质与油污；S2、采用磁控溅射设备与离子束沉积设备，清洗后的衬底先置于磁控溅射设备的真空腔室内，以石墨为溅射靶材，在衬底上制备C膜；S3、制备完C膜的衬底转置于离子束沉积设备的真空腔室内，以N为离子束的N离子源，在C膜表面进行离子束沉积，得到CN薄膜；S4、在N气氛炉中，以250℃对CN薄膜退火3小时；磁控溅射与离子束沉积相互配合且各自控制，互不影响，工艺简单，可控性强；退火过程有利于CN薄膜中未参与反应的C、N离子进一步反应，提高薄膜的结晶质量。

申请人：中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司

地址：233010 安徽省蚌埠市禹会区涂山路1047号

国籍：CN

代理机构：安徽省蚌埠博源专利商标事务所

代理人：陈俊

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