专利名称：一种双程表面等离子共振的光学薄膜气体传感器及
其制法
专利类型：发明专利
发明人：王鸣,邓亚利,曹文,郝辉,夏巍,邵建华申请号：CN202010902254.8申请日：20200831公开号：CN112014358A公开日：20201201
摘要：本发明公开了一种双程表面等离子共振的光学薄膜气体传感器，所述传感器包括高反射镜、Ag膜、TiO膜、棱镜和反应气室，棱镜包括第一侧面、第二侧面和第三侧面，第一侧面上覆盖高反射镜，第二侧面上覆盖Ag膜，Ag膜的表面覆盖TiO膜，TiO膜与反应气室相连，高反射镜能够使得沿第三侧面入射到其表面的光沿原路返回。本发明还公开了一种双程表面等离子共振的光学薄膜气体传感器的制备方法。本发明选择对折射率变化具有良好的折射率响应和高灵敏度的银和二氧化钛为气敏膜，二氧化钛不仅可以保护敏感膜不被氧化，还可以谐调共振波长；传感器的制备工艺简单，易于批量生产，性能好，灵敏度高，模块化，操作简单，使用范围广。
申请人：南京师范大学
地址：210046 江苏省南京市栖霞区文苑路1号
国籍：CN
代理机构：南京苏高专利商标事务所(普通合伙)
代理人：金诗琦
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