专利名称：基于薄膜厚度测量辅助定位的膜厚监测方法专利类型：发明专利发明人：鲍军民
申请号：CN201710429669.6申请日：20170528公开号：CN107238363A公开日：20171010
摘要：本发明公开了一种基于薄膜厚度测量辅助定位的膜厚监测方法，执行机构中的刻印单元在冷却成型铸片的预设位置上刻印出V形或U形缺口印记，采集模块从测厚仪获取薄膜剖面厚度曲线数据，由分析处理模块进行分析处理，获得厚度曲线上各点的厚度值，又基于缺口极值点对模头螺栓进行准确定位。本发明通过印记刻印和剖面数据处理，实现对薄膜厚度的实时监测，为膜厚控制提供了有效依据，能警示膜厚异常数据，且辅助定位所需的刻印量少。
申请人：浙江商业职业技术学院
地址：310053 浙江省杭州市滨江区滨文路470号
国籍：CN
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