使用轮廓剪影图像的自动化在线检验和计量[发明专利]

来源：六九路网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：使用轮廓剪影图像的自动化在线检验和计量专利类型：发明专利

发明人：H·法加里亚,S·乔纳宾,B·里斯,M·马哈德凡申请号：CN201580010430.4申请日：20150225公开号：CN106030775A公开日：20161012

摘要：本发明揭示轮廓剪影(Shadow‑gram)，其用于堆叠晶片的边缘检验和计量。系统包含：光源，其将准直光引导在所述堆叠晶片的边缘处；检测器，其与所述光源相对；及控制器，其连接到所述检测器。所述堆叠晶片可相对于所述光源旋转。所述控制器分析所述堆叠晶片的所述边缘的轮廓剪影图像。比较所述堆叠晶片在所述轮廓剪影图像中的侧影(silhouette)的测量与预定测量。可汇总并分析沿所述堆叠晶片的所述边缘的不同点处的多个轮廓剪影图像。

申请人：科磊股份有限公司

地址：美国加利福尼亚州

国籍：US

代理机构：北京律盟知识产权代理有限责任公司

代理人：张世俊

更多信息请下载全文后查看

因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容

查看全文