第1章 传感器的一般特性
1—5 某传感器给定精度为2%F·S,满度值为50mV,零位值为10mV,求可能出现的最大误差(以mV计)。当传感器使用在满量程的1/2和1/8时,计算可能产生的测量百分误差。由你的计算结果能得出什么结论?
解:满量程(F▪S)为50﹣10=40(mV) 可能出现的最大误差为:
m=402%=0.8(mV) 当使用在1/2和1/8满量程时,其测量相对误差分别为:
0.8100%4%1402 0.82100%16%1408
11—6 有两个传感器测量系统,其动态特性可以分别用下面两个
微分方程描述,试求这两个系统的时间常数和静态灵敏度K。 (1)
式中, y——输出电压,V;T——输入温度,℃。
(2)
式中,y——输出电压,V;x——输入压力,Pa。
解:根据题给传感器微分方程,得 (1) τ=30/3=10(s),
K=1.5105/3=0.5105(V/℃);
(2) τ=1.4/4.2=1/3(s),
K=9.6/4.2=2.29(V/Pa)。
1—7 已知一热电偶的时间常数=10s,如果用它来测量一台炉子的温度,炉内温度在0℃至500℃之间接近正弦曲线波动,周期为80s,静态灵敏度K=1。试求该热电偶输出的最大值和最小值。以及输入与输出之间的相位差和滞后时间。
解:依题意,炉内温度变化规律可表示为
x(t) =520+20sin(t)℃
由周期T=80s,则温度变化频率f=1/T,其相应的圆频率 =2f=2/80=/40;
温度传感器(热电偶)对炉内温度的响应y(t)为
y(t)=520+Bsin(t+)℃
1.4dy4.2y9.6xdt 30dy3y1.5105Tdt
热电偶为一阶传感器,其响应的幅频特性为
AB2011211104020.786因此,热电偶输出信号波动幅值为
B=20A()=200.786=15.7℃
由此可得输出温度的最大值和最小值分别为
y(t)|max=520+B=520+15.7=535.7℃
y(t)|min=520﹣B=520-15.7=504.3℃
输出信号的相位差为
(ω)= arctan(ω)= arctan(2/8010)= 38.2
相应的时间滞后为
8038.28.4s360t =
1—8 一压电式加速度传感器的动态特性可以用如下的微分方
程来描述,即
d2y3dy10103.0102.2510y11.010x2dtdt
式中,y——输出电荷量,pC;x——输入加速度,m/s2。试求其固有
振荡频率n和阻尼比。
解: 由题给微分方程可得
n2.2510/11.510rad/s
1053.010322.25101100.01
1—9 某压力传感器的校准数据如下表所示,试分别用端点连线法和最小二乘法求非线性误差,并计算迟滞和重复性误差;写出端点连线法和最小二乘法拟合直线方程。
校准数据表 输 出 值 (mV) 压 力 第一次循环 第二次循环 第三次循环 (MPa) 正行程 反行程 正行程 反行程 正行程 反行程 0 -2.73 -2.71 -2.71 -2.68 -2.68 -2.69 0.02 0.56 0.66 0.61 0.68 0. 0.69 0.04 3.96 4.06 3.99 4.09 4.03 4.11 0.06 7.40 7.49 7.43 7.53 7.45 7.52 0.08 10.88 10.95 10. 10.93 10.94 10.99 0.10 14.42 14.42 14.47 14.47 14.46 14.46 解 校验数据处理(求校验平均值): 压 力 (MPa) (设为x) 0 0.02 0.04 0.06 0.08 0.10 输 出 值 (mV) 第一次循环 第二次循环 第三次循环 校验平均值 正行反行正行反行正行反行(设为程 程 程 程 程 程 y) -2.73 -2.71 -2.71 -2.68 -2.68 -2.69 -2.70 0.56 0.66 0.61 0.68 0. 0.69 0. 3.96 4.06 3.99 4.09 4.03 4.11 4.04 7.40 7.49 7.43 7.53 7.45 7.52 7.47 10.88 10.95 10. 10.93 10.94 10.99 10.93 14.42 14.42 14.47 14.47 14.46 14.46 14.45 (1)端点连线法 设直线方程为
y=a0+kx,
取端点(x1,y1)=(0,-2.70)和(x6,y6)=(0.10,14.45)。则a0由x=0时的y0值确定,即
a0=y0kx=y1=-2.70 (mV)
k由直线的斜率确定,即
ky6y114.45(2.70)171.5x6x10.100(mV/MPa)
拟合直线方程为
y=2.70+171.5x
求非线性误差: 压 力 (MPa) 0 0.02 0.04 0.06 0.08 0.10 校验平均值 (mV) -2.70 0. 4.04 7.47 10.93 14.45 直线拟合值 (mV) -2.70 0.73 4.16 7.59 11.02 14.45 非线性误差 (mV) 0 -0.09 -0.12 -0.12 -0.09 0 最大非线性误差 (mV) -0.12 所以,压力传感器的非线性误差为
L 求重复性误差:
0.12100%0.7%14.45(2.70)
输 出 值 (mV) 压 力 (MPa) 0 0.02 0.04 0.06 0.08 0.10
正行程 反行程 不重不重1 2 3 复误1 2 3 复误差 差 -2.73 -2.71 -2.68 0.05 -2.71 -2.68 -2.69 0.03 0.56 0.61 0. 0.08 0.66 0.68 0.69 0.03 3.96 3.99 4.03 0.07 4.06 4.09 4.11 0.05 7.40 7.43 7.45 0.05 7.49 7.53 7.52 0.04 10.88 10. 10.94 0.06 10.95 10.93 10.99 0.04 14.42 14.47 14.46 0.05 14.42 14.47 14.46 0.05
最大不重复误差为0.08 mV,则重复性误差为
R0.08100%0.47%14.45(2.70)
求迟滞误差: 压 力 第一次循环 (MPa正行反行迟) 程 程 滞 -2.7-2.70.00 3 1 2 0.10.02 0.56 0.66 0 0.10.04 3.96 4.06 0 0.00.06 7.40 7.49 9 10.810.90.00.08 8 5 7 14.414.40.10 0 2 2 输 出 值 (mV) 第二次循环 第三次循环 正行反行迟反行迟正行程 程 程 滞 程 滞 -2.7-2.60.0-2.60.0-2.68 1 8 3 9 1 0.00.00.61 0.68 0. 0.69 7 5 0.10.03.99 4.09 4.03 4.11 0 8 0.10.07.43 7.53 7.45 7.52 0 7 10.810.90.010.90.010.94 9 3 4 9 5 14.414.414.414.40.0 0.0 7 7 6 6
最大迟滞为0.10mV,所以迟滞误差为
H0.10100%0.58%14.45(2.70)
(2)最小二乘法
设直线方程为
y=a0+kx
数据处理如下表所示。 序号 1 0 2 0.02 3 0.04 4.04 4 0.06 7.47 5 0.08 6 0.10 ∑ 0.3 x y x2 xy 2.70 0. 0 0 10.93 14.45 34.83 0.0004 0.0016 0.0036 0.00 0.01 0.022 0.0128 0.1616 0.4482 0.8744 1.445 2.942 根据以上处理数据,可得直线方程系数分别为:
a02xyxxynx2x20.02234.830.32.94260.0220.320.766260.88262.77(mV)0.0422knxyxynx2x
62.9420.334.83171.5(mV/MPa)260.0220.3所以,最小二乘法线性回归方程为
y=2.77+171.5x
求非线性误差: 压 力 (MPa) 0 0.02 0.04 0.06 0.08 校验平均值 (mV) -2.70 0. 4.04 7.47 10.93 直线拟合值 (mV) -2.77 0.66 4.09 7.52 10.95 非线性误差 (mV) 0.07 -0.02 -0.05 -0.05 -0.02 最大非线性误差 (mV) -0.07 0.10 14.45 14.38 0.07 所以,压力传感器的非线性误差为
L0.07100%0.41%14.38(2.77)
可见,最小二乘法拟合直线比端点法拟合直线的非线性误
差小,所以最小二乘法拟合更合理。
重复性误差R和迟滞误差H是一致的。
1—10 用一个一阶传感器系统测量100Hz的正弦信号时,如幅值误差在5%以内,则其时间常数应取多少?若用该系统测试50Hz的正弦信号,问此时的幅值误差和相位差为多?
解: 根据题意
11215% (取等号计算)
21111.052615%0.95
解出
ωτ =0.3287
所以
0.3287/0.32870.523103s2100=0.523ms
112500.52310 当用该系统测试50Hz的正弦信号时,其幅值误差为
11213211.32%相位差为
=﹣arctan()=﹣arctan(2π×50×0.523×103)=﹣9.3° 1—11一只二阶力传感器系统,已知其固有频率f0=800Hz,阻尼比=0.14,现用它作工作频率f=400Hz的正弦变化的外力测试时,其幅值比A()和相位角()各为多少;若该传感器的阻尼比=0.7时,其A()和()又将如何变化?
2ff4000.52ff80000解: n
所以,当ξ=0.14时
A11n242n2
12
10.5221.3140.1420.52
arctan2n1n2arctan 当ξ=0.7时
A20.140.50.1845rad10.610.52 110.5220.97540.720.52
arctan20.70.50.75rad4310.52
1—12 用一只时间常数=0.318s的一阶传感器去测量周期
分别为1s、2s和3s的正弦信号,问幅值相对误差为多少?
解:由一阶传感器的动态误差公式
11210.318s,=0.318s
1120.31821T1sf1Hz2rad1155.2%2T2s3T3sf0.5Hzrad229.3%12fHzrad316.8%33
1—13 已知某二阶传感器系统的固有频率f0=10kHz,阻尼比=0.1,若要求传感器的输出幅值误差小于3%,试确定该传感器的工作频率范围。
解:由f0=10kHz,根据二阶传感器误差公式,有
114n222n13%2
14n222n121.0321.069将=0.1代入,整理得
n41.96n20.050
n1.9271.388(舍去)0.03350.183n
2 f0.183fo0.183101.83kHz
1—14 设有两只力传感器均可作为二阶系统来处理,其固有振荡频率分别为800Hz和1.2kHz,阻尼比均为0.4。今欲测量频率为400Hz正弦变化的外力,应选用哪一只?并计算将产生多少幅
2ff0.183n2fofo度相对误差和相位差。 解:由题意知
400/8000.5n400/12001/3
112则其动态误差0.4
11422n2n
110.540.422120.52 17.6%21
40.42131211322 =7.76%
相位差
1tan12/n120.40.5tan210.52 1 /n0.49rad27.9 20.4132tan1211/3 = 0.29(rad)= 16.6°
第2章 电阻应变式传感器
2—5 一应变片的电阻R0=120Ω,K=2.05,用作应变为800µm/m的传感元件。(1)求△R与△R/R;(2)若电源电压Ui=3V,求其惠斯通测量电桥的非平衡输出电压U0。
R/R 解:由 K=,得
R800mK2.0561.103R10m则
ΔR=1.×103 ×R=1.×103 ×120Ω=0.197Ω
其输出电压为
U0UiR31.1031.23103V4R4=1.23(mV)
2—6 一试件的轴向应变εx=0.0015,表示多大的微应变
(µε)?该试件的轴向相对伸长率为百分之几?
解: εx =0.0015=1500×10-6 =1500(ε) 由于
εx =Δl/l
所以
Δl/l=εx =0.0015=0.15%
2—7 某120Ω电阻应变片的额定功耗为40mW,如接人等臂直流电桥中,试确定所用的激励电压。
解:由电阻应变片R=120,额定功率P=40mW,则其额定端电压为
U=PR12040102.19V
当其接入等臂电桥中时,电桥的激励电压为
Ui =2U=2×2.19=4.38V≈4V
2—8 如果将120Ω的应变片贴在柱形弹性试件上,该试件的截面积S=0.5×10-4m2,材料弹性模量E=2×101lN/m2。若由5×104N的拉力引起应变片电阻变化为1.2Ω,求该应变片的灵敏系数K。 解:应变片电阻的相对变化为 柱形弹性试件的应变为
F51040.005;ESE0.510421011
R1.210.01R120100
3 应变片的灵敏系数为
KR/R2—10 以阻值R=120Ω,灵敏系数K=2.0的电阻应变片与阻值
120Ω的固定电阻组成电桥,供桥电压为3V,并假定负载电阻为无穷大,当应变片的应变为2µε和2000µε时,分别求出单臂、双臂差动电桥的输出电压,并比较两种情况下的灵敏度。
解:依题意 单臂:
Ui33106(V)2Uok2.0344310(V)2000
0.0120.005
差动:
Ui33106(V)2Uok2.0322310(V)2000
灵敏度:
KuUoKU/4(单臂)KUi/2(差动)i
可见,差动工作时,传感器及其测量的灵敏度加倍。 2—11 在材料为钢的实心圆柱试件上,沿轴线和圆周方向各贴一
片电阻为120Ω的金属应变片R1和R2,把这两应变片接人差动电桥(参看习题图2—11)。若钢的泊松比µ=0.285,应变片的灵敏系数K=2,电桥的电源电压Ui=2V,当试件受轴向拉伸时,测得应变片R1的电阻变化值△R=0.48Ω,试求电桥的输出电压U0;若柱体直径d=10mm,材料的弹性模量E=2×1011N/m2,求其所受拉力大小。
习题图2-11 差动电桥电路 解:由R1/R1=K1,则
1 2= 1= 0.2850.002= 0.00057
所以电桥输出电压为
U0UiK12422(0.0020.00057)40.00257(V)2.57mV
R/R10.48/1200.002K2
当柱体直径d=10mm时,由
41EFSE,得
F1ES0.002210113.1410(N)1010342
2—12 一台采用等强度梁的电子称,在梁的上下两面各贴有两片电阻应变片,做成称重传感器,如习题图2—12所示。已知l=10mm,b0=llmm,h=3mm,E=2.1×104N/mm2,K=2,接入直流四臂差动电桥,供桥电压6V,求其电压灵敏度(Ku=Uo/F)。当称重0.5kg时,电桥的输出电压Uo为多大?
(a) (b)
习题图2-12 悬臂粱式力传感器
解:等强度梁受力F时的应变为
6Flh2b0E
当上下各贴两片应变片,并接入四臂差动电桥中时,其输出电压:
UOUi6FlK4KUi24hb0E
6lih2bE26100632112.1104则其电压灵敏度为
KuUoFK
=3.463×10 (V/N)=3.463(mV/N) 当称重 F=0.5kg=0.5×9.8N=4.9N时,输出电压为
U0 =Ku F=3.463×4.9=16.97(mV)
2—13 现有基长为10mm与20mm的两种丝式应变片,欲测钢构件频率为10kHz的动态应力,若要求应变波幅测量的相对误差小于0.5%,试问应选用哪一种?为什么?
解: =v/f=5000/(10103)=0.5(m) l0=10mm时
-3
1=l0=20mm时
l50010sin01sin18010.066%l010500
250020sin18010.26%20500
由此可见,应选用基长l0=10mm的应变片.
2—14 有四个性能完全相同的应变片(K=2.0),将其贴在习题图
2—14所示的压力传感器圆板形感压膜片上。已知膜片的半径R=20mm,厚度h=0.3mm,材料的泊松比µ=0.285,弹性模量E=2.0×1011N/m2。现将四个应变片组成全桥测量电路,供桥电压Ui=6V。求:
(1)确定应变片在感压膜片上的位置,并画出位置示意图;
(2)画出相应的全桥测量电路图; (3)当被测压力为0.1MPa时,求各应
变片的应变值及测量桥路输出电压U0;
(4)该压力传感器是否具有温度补偿
作用?为什么?
(5)桥路输出电压与被测压力之间是否存在线性关系?
习
题图2-14 膜片式压力传感器
解:(1)四个应变片中,R2、R3粘贴在圆形感压膜片的中心且沿切向;R1、R4粘贴在圆形感压膜片R/3之外沿径向,并使其粘贴处的应变εr与中心切向应变εtmax相等。如下图(a)所示。
(2)测量电桥电路如上图(b)所示。
(a) (b)
题解2-14图
(a)应变片粘贴示意图;(b)测量电桥电路
(3)根据(1)的粘贴方式,知
23tmax312R2p(tmax)28hE
23211310.2852201033 0.765610
3
ε1 =ε4 = εtmax = 0.7656×10
则测量桥路的输出电压为
U0UiK12344UiK4tmaxUiKtmax4620.76561039.19103(V)9.19mV
80.310210105(4)具有温度补偿作用;
(5)输出电压与被测力之间存在线性关系,因此,由(3)知
UOUiKtmax312R2UiKpp28hE
2—17 线绕电位器式传感器线圈电阻为10KΩ,电刷最大行程
4mm,若允许最大消耗功率为40mW,传感器所用激励电压为允许的最大激励电压。试求当输入位移量为1.2mm时,输出电压是多少?
解:最大激励电压
UiPR401031010320V
当线位移x=1.2mm时,其输出电压
Ui20x1.26(V)l4
2—18 一测量线位移的电位器式传感器,测量范围为0~10mm,分辨力为0.05mm,灵敏度为2.7V/mm,电位器绕线骨架外径d=5mm,电阻丝材料为铂铱合金,其电阻率为ρ=3.25×10-4Ω·mm。当负载电阻RL=10kΩ时,求传感器的最大负载误差。
解:由题知,电位器的导线匝数为
N=10/0.05=200
则导线长度为
l=Nd=200d, (d为骨架外径)
电阻丝直径与其分辨力相当,即d丝=0.05mm
UollS2d丝4故电阻丝的电阻值 20053.2510452020.0
R520m0.0523RL1010
R δLm ≈15m%=15×0.052%=0.78%
第3章 电感式传感器
3—15 某差动螺管式电感传感器(参见习题图3-15)的结构参数为单个线圈匝数W=800匝,l=10mm,lc=6mm,r=5mm,rc=1mm,设实际应用中铁芯的相对磁导率µr=3000,试求:
(1)在平衡状态下单个线圈的电感量L0=?及其电感灵敏度足KL=?
(2)若将其接人变压器电桥,电源频率为1000Hz,电压E=1.8V,设电感线圈有效电阻可忽略,求该传感器灵敏度K。 (3)若要控制理论线性度在1%以内,最大量程为多少?
解:(1)根椐螺管式电感传感器电感量计算公式,得
L00W2l2lr2rlcrc2 习题图3-15 差动螺管式电感
传感器
41078002101032105210930006121090.46(H)差动工作灵敏度:
KL2
0W222l 74108002rcr210103211063000 151.6/m151.6m/mm (2) 当f=1000Hz时,单线圈的感抗为
XL =ωL0 =2πf L0 =2π×1000×0.46=20(Ω) 显然XL >线圈电阻R0,则输出电压为
UOEL2L0
测量电路的电压灵敏度为
KuU0E1.8V1.96V/1.96mV/mL2L020.46
而线圈差动时的电感灵敏度为KL =151.6mH/mm,则该螺管式电感
传感器及其测量电路的总灵敏度为
=297.1mV/mm
3—16 有一只差动电感位移传感器,已知电源电Usr=4V,f=400Hz,传感器线圈铜电阻与电感量分别为R=40Ω,L= 30mH,用两只匹配电阻设计成四臂等阻抗电桥,如习题图3—16所示,试求: (1)匹配电阻R3和R4的值;
(2)当△Z=10时,分别接成单臂和差动电桥后的输出电压值;
KKLKu151.6m/mm1.96mV/m
(3)用相量图表明输出电压Usc与输入电压Usr之间的相位差。 习题图3-16 解:(1) 线圈感抗
XL=L=2fL=240030103=75.4() 线圈的阻抗
2ZR2XL40275.4285.4
故其电桥的匹配电阻(见习题图3-16)
R3 = R4 =Z=85.4()
(2)当ΔZ=10时,电桥的输出电压分别为
单臂工作:
UscUsrZ4100.117V4Z485.4
双臂差动工作:
UsrZ4100.234V2Z285.4
R40tan1tan127.9L75.4 (3)
Usc3—17 如习题图3—17所示气隙型电感传感器,衔铁截面积
S=4×4mm2,气隙总长度δ=0.8mm,衔铁最大位移△δ=±0.08mm,激励线圈匝数W=2500匝,导线直径d=0.06mm,电阻率ρ=1.75×10-6.cm,当激励电源频率f=4000Hz时,忽略漏磁及铁损,求:
(1)线圈电感值;
(2)电感的最大变化量; (3)线圈的直流电阻值; (4)线圈的品质因数;
(5)当线圈存在200pF分布电容与之并联后其等效电感值。
习题图3-17 气隙型电感式传感器(变隙式)
解:(1)线圈电感值
0W2S41072500244106L1.57101157m0.8103
(2)衔铁位移Δδ=+0.08mm时,其电感值
0W2S41072500244106L20.820.08103 =1.31×10(H)=131mH
衔铁位移Δδ=﹣0.08mm时,其电感值
0W2S41072500244106L20.820.08103
-1
=1.96×10-1(H)=196(mH) 故位移=±0.08mm时,电感的最大变化量为
ΔL=L﹣L=196﹣131=65(mH)
(3)线圈的直流电阻
0.06lCp44mm2设为每匝线圈的平均长度,则
WlCplR2sd4
(4)线圈的品质因数
L0.0612500441021.7510620.061014249.6
2fL240001.57101Q15.8RR249.6
(5)当存在分布电容200PF时,其等效电感值
LpL12LCL12fLC21.571011240001.5710120010122
3—18 如图3—4(b)所示差动螺管式电感传感器,其结构参数如下:l=160mm,r=4mm,rc=2.5mm,lc=96mm,导线直径d=0.25mm,电阻率ρ=1.75×10-6Ω·cm,线圈匝数W1=W2=3000匝,铁芯相对磁导率µr=30,激励电源频率f=3000Hz。要求:
(1)估算单个线圈的电感值L=?直流电阻R=?品质因数Q=? (2)当铁芯移动±5mm时,线圈的电感的变化量△L=?
(3)当采用交流电桥检测时,其桥路电源电压有效值E=6V,
要求设计电路具有最大输出电压值,画出相应桥路原理图,并求输出电压值。 解:(1)单位线圈电感值
0W2l2lc2Lrrcr22l/224107300021609610342106301032.5210622216031025.7010257.0m1.60101160m
WlCplSd2/4 (lcp=2r,每匝导线长度)
6R电阻值
则品质因数
1.751030002410126.9()220.2510/4
(2)铁芯位移Δlc=±5mm时,单个线圈电感的变化
L2fL230005.70102Q39.9RR26.9
LW241030002l/272rrc2lc32
(3)要使电桥输出最大,须使电桥为等臂电桥,则相邻桥臂阻抗比值a=1;且将电感线圈L和平衡电阻R放置在桥路输出的两侧,则 =±(π/2),这时电桥的灵敏度|K|=0.5,差动工作时为其2倍,故其输出电压
Uo2KL5.2E20.56L57
35.2m5.210
160210302.510351023=0.4(V)=4mV
其电桥电路如下图所示,其中Z1、Z2为差动螺管式电感传感器、R1、R2为电桥平衡电阻。
题3-18题解图 第4章 电容式传感器
4—2 试计算习题图4-2所示各电容传感元件的总电容表达式。
(a) (b) (c)
习题图4-2
解:由习题图4-2可见
(1)图(a)等效为三个平板电容器串联 总电容量为
C11Sd1,
C22Sd2,
C33Sd3
故
C串ddd1111123C串C1C2C31S2S3Sdd213d312123123S
123SSd123d213d312d1/1d2/2d3/3
(2)图(ba)等效为两个平板电容器并联
C1C2CSd;C并C1C22C2Sd
(3)图(c)等效为两柱形电容器并联,总电容量为
C20(LH)20L2(0)2HHlnd2/d1ln(d2/d1)ln(d2/d1)ln(d2/d1)
4—3 在压力比指示系统中采用差动式变间隙电容传感器和电桥
测量电路,如习题4—3图所示。已知:δ0=0.25mm;D=38.2mm;R=5.1kΩ;Usr=60V(交流),频率f=400Hz。试求: (1)该电容传感器的电压灵敏度Ku (V/µm);
(2)当电容传感器的动极板位移△δ=10µm时,输出电压Usc值。
习题图4—3 解:由传感器结构及其测量电路可知
(1)初始电容
C1C2C004D28.85101238.210340.2510340.61012F40.6pF0
2由于 则
Xc111C02fC0240040.61012
6R(5.1k) 9.810
U0UiCUid2C020
从而得
KuU0U60i120V/mm0.12V/μmd2020.25
(2) U0 = Ku Δd=0.12V/m×10m=1.2V
4—4 有一台变间隙非接触式电容测微仪,其传感器的极板半径r=4mm,假设与被测工件的初始间隙d0=0.3mm。试求: (1)如果传感器与工件的间隙变化量△d=±10µm,电容变化量为多少?
(2)如果测量电路的灵敏度足Ku=100mV/pF,则在△d=±1µm时的输出电压为多少? 解:由题意可求
(1)初始电容:
8.8510124103C0d0d00.31031.481012F1.48pF0S0r22
CdC由 0d0,则当Δd=±10um时
如果考虑d1=0.3mm+10µm与d2=0.3mm﹣10µm之间的电容变化量ΔC′,则应为
ΔC′=2|ΔC|=2×0.049=0.098pF
(2) 当Δd=±1µm时
Cd1mC01.48pF0.0049pF3d00.310m
d10103CC01.480.049pFd00.3
由 Ku=100mV/pF=U0/ΔC,则
U0=KuΔC=100mV/pF×(±0.0049pF)=±0.49mV
4—5有一变间隙式差动电容传感器,其结构如习题图4-5所示。选用变压器交流电桥作测量电路。差动电容器参数:r=12mm;d1=d2=d0=0.6mm;空气介质,即ε=ε0=8.85×10-12F/m。测量电路参数:usr=u=Usr= 3sinωt (V)。试求当动极板上输入位移(向上位移) △x=0.05mm时,电桥输出端电压Usc?
习题图4-5
解:由习题图4-5可求
初始电容
C1=C2=C0=S/d=0r2/d0
8.851012121030.6103
26.671012F6.67pF
变压器输出电压
其中Z1 ,Z2 分别为差动电容传感器C1 ,C2 的阻抗.在ΔX< 4—6 如习题图4-6所示的一种变面积式差动电容传感器,选用 二极管双厂网络测量电路。差动电容器参数为:a=40mm,b=20mm,dl=d2=d0=1mm;起始时动极板处于中间位置,Cl=C2=C0,介质为空气,ε=ε0=8.85×10-12F/m。测量电路参数:D1、D2为理想二极管;及R1=R2=R=10KΩ;Rf=1MΩ,激励电压Ui=36V,变化频率f=1MHz。试求当动极板向右位移△x=10mm时,电桥输出端电压Usc? 习题图4-6 解:由习题图4-6可求 传感器初始电容 a4010312b8.8510201030S22C00d0d01103 =3.×1012(F)=3.pF 当动极板向右移Δx=10mm时,单个电容变化量为 Cx101C0C03.1.77pFa/240/22 (或 8.851012201031010312cx1.7710(F)1.77pF3d110 ) 0b则 C1 = C0+ΔC,C2 = C0∆C,由双T二极管网络知其输出电压 USC = 2 k Ui fΔC 2 2.55V 4—7 一只电容位移传感器如习题图4-7所示,由四块置于空气中的平行平板组成。板A、C和D是固定极板;板B是活动极板,其厚度为t,它与固定极板的间距为d。B、C和D极板的长度均为a,A板的长度为2a,各板宽度为b。忽略板C和D的间隙及各板的边缘效应,试推导活动极板刀从中间位置移动x=±a/2时电容CAC和CAD的表达式(x=0时为对称位置)。 RR1010210210102102f4462RR2RfRfUifC6361061.771012习题图4-7 解:参见习题图4-7知 CAC是CAB与CBC串联,CAD是CAB与CBD串联。 当动极板向左位移a/2时,完全与C极板相对(见题解4-7图),此时 CAB=CBC=ε0ab/d 则 CAC=CAB/2=CBC/2=ε0ab/2d; CAD=ε0ab/(2d+t)。 题解4-7图 同理,当动极板向右移a/2时,与上相仿(见题解4-7图),有 CAC =ε0ab/(2d+t);CAD=ε0ab/2d 4—8 已知平板电容传感器极板间介质为空气,极板面积S=a×a=(22)cm2,间隙d0=0.1mm。求:传感器的初始电容值;若由于装配关系,使传感器极板一侧间隙d0,而另一侧间隙为d0+b(b=0.01mm),此时传感器的电容值。 解:初始电容 当装配不平衡时(见题解4-8图(a)),可取其平均间隙计算(见题解4-8图(b)) =0.1+0.01/2=0.105(mm) 则其电容为 8.85101222104Cd0.105103 d(d0b)bd0d0228.85101222104C0d0d00.110335.41012(F)35.4pF S0S0S =33.7×10-12(F)=33.7pF (a) (b) (c) 题解4-8图 或利用积分法计算传感器的电容,(见题解4-8图(c)),在位置x处,取宽度为dx、长度为a的两个狭窄长条之间的微电容为 dC0adxd0bx/a 所以,总电容为 Ca 两种计算方法结果接近,但积分法更为严密。 4-14 习题图4-14(a)所示差动式同心圆筒柱形电容传感器,其可动内电极圆筒外经d=9.8mm,固定电极外圆筒内经D=10mm,初始平衡时,上、下电容器电极覆盖长度L1=L2=L0=2mm,电极间为空气介质。试求: (1)初始状态时电容器C1、C2的值; (2)当将其接入习题图4-14(b)所示差动变压器电桥电路,供桥电压E=10 V(交流),若传感器工作时可动电极筒最大位移x= 0.2mm,电桥输出电压的最大变化范围为多少? bCdCdxln100dbx/ab0d08.851012(2102)20.0112ln133.810(F)33.8pF30.10.0110 0a0a2 (a) (b) 习题图4-14 解 (1)初始状态时 20L028.8510122103C1C2C0D10lnlnd9.8125.5110(F)5.51pF (2)当动电极筒位移x= +0.2mm(向上)时,L1=2+0.2=2.2mm, L2=20.2=1.8mm,则 20L128.8510122.2103C16.061012(F)6.06pFD10lnlnd9.8 12328.85101.810C24.961012(F)4.96pF10ln9.8 UEC1C2106.064.960.5(V)2C1C226.064.96 差动变压器电桥输出为 同理,当动电极筒位移x= 0.2mm(向下)时,L1=20.2=1.8mm, L2=2+0.2=2.2mm,则 C14.96pF C26.06pF 差动变压器电桥输出为 UEC1C2104.966.060.5(V)2C1C226.064.96 因此,当传感器可动电极筒最大位移x= 0.2mm,电桥输出电 压的最大变化范围为0.5V。 第5章 压电式传感器 5—3 有一压电晶体,其面积为20mm2,厚度为10mm,当受到压力p=10MPa作用时,求产生的电荷量及输出电压: (1)零度X切的纵向石英晶体; (2)利用纵向效应的BaTiO3。 解:由题意知,压电晶体受力为 F=pS=10×106×20×10-6=200(N) (1)0°X切割石英晶体,εr=4.5,d11=2.31×1012C/N 等效电容 d =7.97×1014 (F) 受力F产生电荷 Q=d11F=2.31×1012×200=462×102(C)=462pC 输出电压 Q46210123VUa5.79610Ca7.971014 Ca0rS8.8510124.52010610103 (2)利用纵向效应的BaTiO3,εr=1900,d33=191×1012C/N 等效电容 Ca0rSd =33.6×10-12(F)=33.6(pF) 受力F产生电荷 Q=d33F=191×1012×200=38200×1012 (C)=3.82×108C 输出电压 Q3.821083VUa1.13710Ca33.61012 8.85101219002010610103 5—4 某压电晶体的电容为1000pF,kq=2.5C/cm,电缆电容 CC=3000pF,示波器的输入阻抗为1MΩ和并联电容为50pF,求: (1)压电晶体的电压灵敏度足Ku; (2)测量系统的高频响应; (3)如系统允许的测量幅值误差为5%,可测最低频率是多少? (4)如频率为10Hz,允许误差为5%,用并联连接方式,电容值是多大? 解:(1) (2)高频(ω→∞)时,其响应 KuKq/Ca2.5C/cm2.5109V/cm1000pF kqUamd33KuFCCCCaCcCi maci 2.5C/cm6.17108V/cm12 100030005010F (3)系统的谐振频率 1RCaCcCi 1247rads612110100030005010 U/nKim2Uam1/n1由 n,得 /n1/n215% (取等号计算) 0.90250.9025n 2n20.90251/n2 解出 (ω/ωn)2=9.25 ω/ωn=3.0424 ω=3.0424ωn=3.0424×247=751.5(rad/s) f=ω/2π=751.5/2π=119.6(Hz) (4)由上面知,当≤5%时,ω/ωn=3.0424 当使用频率f=10Hz时,即ω=2πf=2π×10=20π(rad/s)时 ωn=ω/3.0424=20π/3.0424=20.65(rad/s) 又由ωn=1/RC,则 C=1/ωnR=1/(20.65×1×106)=4.84×10-8(F)=4.84104pF 5—5 分析压电加速度传感器的频率响应特性。若测量电路为电压前量放大器C总=1000pF,R总=500MΩ;传感器固有频率f0=30kHz,阻尼比ζ=0.5,求幅值误差在2%以内的使用频率范围。 解:压电式加速度的上限截止频率由传感器本身的频率特性决定,根据题意 11/422nn4 2/n212%(取等号计算) 2则 1+(ω/ωn)﹣2(ω/ωn) +4×0.5(ω/ωn)2=0.96 (ω/ωn)4 ﹣(ω/ωn)2 +0.04=0 解出 (ω/ωn)2 =0.042或(ω/ωn)2 =0.96(舍去) 所以 ω/ωn =0.205 或0.205(舍去) =0.205n 2 2 1/2242/n1/1.02则 fH =0.205f0 =0.205×30=6.15(kHz) 压电式加速度传感器下限截止频率取决于前置放大器特性,对电压放大器,其幅频特性 K/n1/n22121 12%由题意得 (取等号计算) ()2 =0.9604+0.9604 ()2 ()2 =24.25 =4.924 ω=4.924/τ fL =ω/2π=4.924/(2)=4.924/(2 RC)=4.924/(2×5×108×109 ) =1.57(Hz) 其误差在2%以内的频率范围为: 1.57Hz~6.15kHz 5—6 石英晶体压电式传感器,面积为100mm2,厚度为1mm,固定在两金属板之间,用来测量通过晶体两面力的变化。材料的弹性模量为9×1010Pa,电荷灵敏度为2pC/N,相对介电常数是5.1,材料相对两面间电阻是1014Ω。一个20pF的电容和一个100MΩ的电阻与极板并联。若所加力F=0.01sin(1000t)N,求: (1)两极板间电压峰—峰值; (2)晶体厚度的最大变化。 解:(1)石英压电晶片的电容 Ca0.9812 0rSd =4.514 ×10-12 (F) ≈4.5pF 由于Ra =1014Ω,并联电容R并=100MΩ=108Ω 则总电阻 R=Ra // R并 = 1014 //108 ≈108Ω 总电容 C=Ca //C并 =4.5+20=24.5(pF) 又因 F=0.01sin(1000t)N=Fm sin(ωt)N,kq =2 pC/N 则电荷 Q=d11 F= kq F Qm = d11 Fm = kq Fm =2 pC/N×0.01N=0.02 pC 所以 8.8510125.11001061103 Uimd11FmR1RC20.021012103108110310824.51012 2 =0.756×103 (V)=0.756mV 峰—峰值: Uim-im =2Uim =2×0.756=1.512mV (2)应变εm =Fm /SE =0.01/(100×106×9×1010 )=1.11×109 =Δdm /d Δdm =dm = 1×1.11×109 (mm)=1.11×109 mm 厚度最大变化量(即厚度变化的峰—峰值 ) Δd =2Δdm =2×1.11×109 =2.22×109 (mm) =2.22×1012 m 5—7 用石英晶体加速度计及电荷放大器测量机器的振动,已知:加速度计灵敏度为5pC/g,电荷放大器灵敏度为50mV/pC,当机器达到最大加速度值时相应的输出电压幅值为2V,试求该机器的振动加速度。(g为重力加速度) 解:由题意知,振动测量系统(压电式加速度计加上电荷放大器)的总灵敏度 K=Kq•Ku =5pC/g ×50 mV/pC=250mV/g=Uo/a 式中,Uo为输出电压;a为振动系统的加速度。 则当输出电压Uo=2V时,振动加速度为 a=Uo/K=2×103/250=8(g) 5—8 用压电式传感器测量最低频率为1Hz的振动,要求在lHz时灵敏度下降不超过5%。若测量回路的总电容为500pF,求所用电压前置放大器的输入电阻应为多大? 解: 由题意知,对于电荷放大器,动态响应幅值误差为 /n1/n215%,(取等号计算) (ω/ωn)2 =0.9025+0.9025 (ω/ωn)2 ω/ωn =3.04 τ=1/ωn =3.04/ω=3.04/(2π×1)=0.484(s)=RC 所以 R=τ/C=0.484/(500×1012) =9.68×108=968M 5—9 已知压电式加速度传感器的阻尼比ζ=0.1,其无阻尼固有频率f0=32kHz,若要求传感器的输出幅值误差在5%以内,试确定传感器的最高响应频率。 解: 由加速度传感器的频率特性知,动态响应幅值误差为 /n0.951/n2 解出 /n 242212nn40.1n0.90722n11/42222n15%1/ (取等号) (ω/ωn)4﹣1.96(ω/ωn)2 +0.093=0 42/n1/1.052(ω/ωn)2 =0.0485或(ω/ωn)2 =1.912(舍去) 则 ω/ωn≈0.22 ωH =0.22ωn 则 fH =0.22f0 =0.22×32=7.04(kHz) 5—10 某压电式压力传感器的灵敏度为80pC/Pa,如果它的电容量为1nF,试确定传感器在输入压力为1.4Pa时的输出电压。 解:当传感器受压力1.4 Pa时,所产生的电荷 Q=80 pC/Pa ×1.4Pa=112 pC 输出电压为 Ua =Q/Ca =112×1012 /(1×109)=0.112(V) 5—11 一只测力环在全量程范围内具有灵敏度3.9pC/N,它与一台灵敏度为10mV/pC的电荷放大器连接,在三次试验中测得以下电压值:(1)100mV;(2)10V;(3)75V。试确定三次试验中的被测力的大小及性质。 解:测力环总灵敏度 K=3.9 pC/N ×10mV/pC=39 mV/N = U0/F 式中,U0为输出电压,F为被测力,所以 F1 =U01 /K=﹣100mV/39mV/N=﹣2.56N (压力) F2 =U02 /K=10×10 3mV/39mV/N=256N (拉力) F3 =U03 /K=﹣75×10 3mV/39mV/N=﹣1923N (压力) 5—14 某压电式压力传感器为两片石英晶片并联,每片厚度h=0.2mm,圆片半径r=1cm,εr=4.5,X切型d11=2.3110-12C/N。当0.1MPa压力垂直作用于PX平面时,求传感器输出电荷Q和电极间电压Ua的值。 解:当两片石英晶片并联时,所产生电荷 Q并=2Q=2•d11 F=2•d11 •πr2 =2×2.31×1012×0.1×106 ×π×(1×102 )2 =145×1012 (C) =145pC 总电容 C并=2C=20rS/h=20rr2 /h =2×8.85×1012×4.5××(1×102)2/0.2103 =125.1×1012 (F) =125.1pF 电极间电压为 U并= Q并/C并=145/125.1=1.16V 第6章 磁电式传感器 6—5 某动圈式速度传感器弹簧系统的刚度k=3200N/m,测得其固有频率为20Hz,今欲将其固有频率减小为10Hz,问弹簧刚度应为多大? 解: nk/m2f0f012k/m2mk/f0 f0 =20Hz , k=3200N/m时, 2m3200/2022 f0′=10Hz时,由k2mf0' 则 6—6 已知恒磁通磁电式速度传感器的固有频率为10Hz,质量块重2.08N,气隙磁感应强度为1T,单匝线圈长度为4mm,线圈总匝数1500匝,试求弹簧刚度k值和电压灵敏度Ku值(mV/(m/s))。 解:由k/m,则 k=ω2 m=(2f)2 m=(2×10)2×2.08/9.8 =8.38×102 (N/m) Ku =e/v=NB0l0v/v=NB0l0 =1500×1×4×103 =6V/(m/s)=6000mv/(m/s) 6—7 某磁电式传感器要求在最大允许幅值误差2%以下工作,若其相对阻尼系数ξ=0.6,试求ω/ωn的范围。 解:由磁电势传感器的幅频特性 Ak2mf0'222102800/m 22得其幅值动态误差为 /n2221/n42/n2 /n212%21/n2242/n n41.021n22240.622n取其等号计算 解得 (ω/ωn)2 =12.3,或(ω/ωn)2 =2.067 ω/ωn =3.515,或 ω/ωn =1.438(舍去) 最大幅值误差小于2%时,其频率范围ω/ωn ≥3.515 第7章 热电式传感器 7—14 已知铜热电阻—Cul00的百度电阻比W(100)=1.42,当用此热电阻测量50℃温 度时,其电阻值为多少?若测温时的电阻值为92Ω,则被测温度是多少? 解:由 W(100)=R100 /R0 =1.42,则其灵敏度为 KR100R01.42R0R00.42R01000.420.42/oC1000100100100则温度为50℃时,其电阻值为 R50 = R0 +K×50=100+0.42×50=121() 当Rt=92时,由Rt = R0 +Kt,得 t=( Rt﹣R0)/K=(92100)/0.42=﹣19(℃) 7—17 用分度号为Ptl00铂电阻测温,在计算时错用了Cul00的分度表,查得的温度为140℃,问实际温度为多少? 解 查Cul00的分度表,140℃对应电阻为159.96,而该电阻值实际为Ptl00铂电阻测温时的电阻值,反查Ptl00的分度表,得实际温度为157℃。 7—18 在某一瞬间,电阻温度计上指示温度θ2=50℃,而实际温度θ1=100℃,设电阻温度计的动态关系为 d2k(12)dt 其中k=0.2/s。试确定温度计达到稳定读数(0.995θ1)所需时间。 解:θ2 从50℃上升到0.995θ1 =0.995×100=99.5℃ d2d2k12kdtdt1299.550td2kdt012 0.5500.5ln12507—19 某热敏电阻,其B值为2900K,若冰点电阻为500KΩ,求热敏电阻在100℃时的阻值。 解:T0 =0℃=273K,R0 =500k;T=100℃=373K td12kdt012 50kttln0.223s0.5 则 R373 =R273 e2900(1/3731/273) =28.98(k) 7—20 将一灵敏度为0.08mV/℃的热电偶与电位计相连接测量其热电势,电位计接线端是30℃,若电位计上读数是60mV,热电偶的热端温度是多少? 解: 7—16 参考电极定律有何实际意义?已知在某特定条件下材料A与铂配对的热电势为13.967mV,材料B与铂配对的热电势是8.345mV,求出在此特定条件下,材料A与材料B配对后的热电势。 解:由标准电极定律 E (T,T0 )=EA铂(T,T0 )EB铂 (T,T0 ) =13.9678.345=5.622(mV) 7-19 镍铬-镍硅热电偶灵敏度为0.04mV/℃,把它放在温度为1200℃处,若以指示仪表作为冷端,此处温度为50℃,试求热电势大小。 解: E(1200,50)= (120050)×0.04=46(mV) 7—24 用K型热电偶测某设备的温度,测得的热电势为20mV,冷端(室温)为25C,求设备的温度?如果改用E型热电偶来测温,在相同的条件下,E热电偶测得的热电势为多少? 解 用K型热电偶测温时,设设备的温度为t,则E(t,25)=20mV,查K型热电偶分度表,E(25,0)=1.000mV。根据中间温度定律, E(t,0)= E(t,25)+ E(25,0)=20+1.0=21.000 mV 反查K型热电偶分度表,得t=508.4℃ 若改用E型热电偶来测次设备温度,同样,根据中间温度定律,测得热电势为 EE(508.4,25)= EK(508.4,0) EK(25,0)=37678.61496.5=36182.1V36.18mV。 7—25 现用一支镍铬-铜镍热电偶测某换热器内的温度,其冷端温度为30℃,显示仪表的机械零位在0℃时,这时指示值为400℃,则认为换热器内的温度为430℃对不对?为什么?正确值为多少度? 解 认为换热器内的温度为430℃不对。 设换热器内的温度为t,实测热电势为E(t,30),根据显示仪表指示值为400℃,则有E(t,30)= E(400,0),由中间温度定律并查镍铬-铜镍(E型)热电偶分度表,有 E(t,0)= E(t,30)+ E(30,0)= E(400,0)+ E(30,0)=243+1801=30744V 反查镍铬-铜镍热电偶分度表,得换热器内的温度t=422.5℃ t60mV30C780C0.08mV/C 7—20 热电偶温度传感器的输入电路如习题7-26图所示,已知铂铑-铂热电偶在温度0~100℃之间变化时,其平均热电势波动为6µV/℃,桥路中供桥电压为4V,三个锰铜电阻(Rl、R2、R3)的阻值均为1Ω,铜电阻的电阻温度系数为α=0.004/℃,已知当温度为0℃时电桥 平衡,为了使热电偶的冷端温度在0~50℃范围其热电势得到完全补偿,试求可调电阻的阻值只R5。 解:热电偶冷端补偿电势 E(t,0)=kt, 习 题图7-26 式中,k为热电偶灵敏度(k=6V/℃), 而补偿电桥输出电压(见习题图7-26) U0冷端补偿时有 ktUiRURtUit4R4R4 =6mV 根据电桥电路,其等效电路为R1、Rcu和R2、R3分别串联后再并联,然后与电源、R5串联,桥臂电阻串并联后为1Ω,由此可得 1×Ui =1E/(R+1) 所以 R=E/ Ui1=4000/61=665.7(Ω) 7—28 有一台数字电压表,其分辨力为100V/1个字,现与Cul00热电阻配套应用,测量范围为0~100℃,试设计一个标度变换电路,使数字表直接显示温度数值。 解 利用Cul00热电阻测温,测温范围为0~100℃时,其电阻变化100~142.8,即电阻满度变化值Rt=42.8。数字电压表分辨力为100V/1个字,若要使数字表直接显示温度数值,当被测温度为满度值100℃时,要显示“100”这个数字,电压表需要输入电压为100100=10000V=10mV。现在的任务就是要将“42.8”转换为“10mV”,这种转换电路(即标度变换电路)可选电子电桥电路,如题解图7—28所示。 Ui4k46tUi6000V40.004 题解7-28 电阻信号的标度变换(R-V变换) 根据不平衡电桥原理(题解图7—28),可得 Uo当被测温度处于下限(0℃)时,有Rt=Rt0=R0,则 桥路设计时取R>>R0,那么在被测温度处于非下限时有 I1EEI2IRRtRR0EERtRoRRtRRo EERRt0RR0于是 Uo=I(RtR0)=I(Rt) 上式说明了可由不平衡电桥的转换关系,通过改变桥路参数来实现标度变换。 根据前面分析,有 I显然通过适当选取E或R便可得到I=0.234mA。当取R=20k时,电源电压E为 EI(RR0)0.234(20000100)4703.4mV4.7VUo100.234(mA)R142.80 因篇幅问题不能全部显示,请点此查看更多更全内容
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