平面度与光波带的条数关系

平面度与光波带的关系之南宫帮珍创作

创作时间：二零二一年六月三十日 引用一本书上的内容:1)根据干涉条纹计算平面度误差丈量时若呈现向一个方向弯曲的干涉条纹, 如图所示, 调整平晶位置, 使之呈现间距可是如何精确确定ν和ω的值,我也很迷惑!2）根据光圈计算平面度误差若被测平面凹或凸, 则会呈现环形干涉带, 调整平晶的圈数示意图如下平晶具有两个（或一个）光学丈量平面的正圆柱形或长方形的量规.光学丈量平面是概况粗拙度数值和平面度误差都洁概况的平面度误差, 图1a为用平面平晶检验量块丈量面的平面度误差.平行平晶的两个光学丈量平面是相互平行的 柱形平面平晶的直径通常为 45～150毫米.其光学丈量平面的平面度误差为:1级精度的为0.03～0.05微米；2级精度的平晶-正文

具有两个（或一个）光学丈量平面的正圆柱形或长方形的量规.光学丈量平面是概况粗拙度数值和平面度误差都极小的玻璃平面, 它能够发生光波干涉条纹（见激光测长技术）.平晶有平面平晶和平行平晶两种.平面平晶用于丈量高光洁概况的平面度误差, 图1a为用平面平晶检验量块丈量面的平面度误差.平行平晶的两个光学丈量平面是相互平行的, 用于丈量两高光洁概况的平行度误差, 例如千分尺两丈量面的平行度误差（图1b）.平晶用光学玻璃或石英玻璃制造.圆柱形平面平晶的直径通常为 45～150毫

创作时间：二零二一年六月三十日

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米.其光学丈量平面的平面度误差为:1级精度的为0.03～0.05微米；2级精度的为0.1微米.罕见的长方形平面平晶的有效长度一般为200毫米.

平晶

平晶

平晶是利用光波干涉现象丈量平面度误差的, 故其丈量方法称为平晶干涉法（图2）,也称技术光波干涉法.丈量时,把平晶放在被测概况上,且与被测概况形成一个很小的楔角 θ, 以单色光源照射时会发生干涉条纹.干涉条纹的位置与光线的入射角有关.如入射光线垂直于被测概况, 且平晶与被测概况间的间隙很小,则由平晶丈量面P反射的光线与被测概况反射的光线在丈量面 P发生干涉而呈现明或暗的干涉条纹.若在白光下, 则呈现黑色干涉条纹.如干涉条纹平直, 相互平行,且分布均匀,则暗示被测概况的平面度很好；如干涉条纹弯曲, 则暗示平面度欠好.其误差值为

, 式中a为两干涉条纹间距离, b为干涉条纹的弯曲值,λ创作时间：二零二一年六月三十日

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为光波波长, 白光波长一般以0.6微米计算.

光波带图

创作时间：二零二一年六月三十日

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