专利名称：一种石英炉管专利类型：实用新型专利发明人：张彩根
申请号：CN02216654.8申请日：20020403公开号：CN2540079Y公开日：20030312
摘要：一种石英炉管，属于一般形状的耐火制品组成的层状产品技术领域。它具有石英制成的基壳体，在该基壳体受热部的外表面上熔制复盖有一层耐高温材料涂层。本实用新型主要用作集成电路、半导体芯片氧化、还原、扩散、外延加工的炉具。本实用新型在几乎不增加石英炉管壁厚和自重的情况下，大大提高了石英炉管的使用温度。
申请人：张彩根
地址：313009 浙江省湖州市南浔镇南浔大桥北堍雄燕光电石英有限公司
国籍：CN
代理机构：浙江杭州金通专利事务所有限公司
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