特种管道检漏

目 录

 超纯气体管道检漏（气密性）测试  纯水管路泄漏性检测  我公司类似项目业绩

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超纯气体管道和纯水管路检漏测试

超纯气体管道检漏（气密性）测试

一、 概述

气体管道泄漏检测一般有两种方法，一种为常规方法，即气密性试验，通过保压效果来判断管路是否泄漏；一种为氦检漏法，借助特定仪器，通过规定的操作来判断管路是否泄漏。

二、 捡漏基本要求

超纯气体管道的检漏应在管道安装完毕并通过强度测试后进行。

特种气体管道安装完毕，并通过强度测试方可进行检漏

三、 一般检测流程

管道安装完毕，准备测试测试仪器和介质准备测试仪器与管路连接强度试验并合格管道检漏试验并合格测试资料签字和验收吹扫进行下一个检测工序

 管道安装完毕、准备测试：高纯气体管路系统安装完成，各焊口焊接完毕，

阀门安装到位；

 测试仪器和介质准备：根据设计和业主要求，确定测试项目，并准备测试用

的材料、仪器和临时连接管路；

 测试仪器与管路连接：选择待测试管路，将测试仪器用临时连接管路与待测

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超纯气体管道和纯水管路检漏测试

试的管路连接。需要特别注意的是，临时连接管路的材料需与主管路材质保持一致。例如被测试管路为EP管，则临时连接管路的材质也需为EP管。  强度试验并检测合格：根据设计压力，将高纯气体注入待测管路，保持压力

为设计压力的1.1倍，并保持10分钟，检测有无压降并进行修复，直至合格并确认通过强度试验。

 管道检漏：根据业主和设计要求，确定管道气密性试验的方案。一般情况下

无需进行氦检漏，当有较高要求时可以采用氦检漏（主要是考虑工程费用的因素）；

 测试资料签字和验收：强度测试和气密性测试合格后，应及时由监理或业主

签署测试报告；

 吹扫：检测完毕的管路系统应该用高纯气体进行不间断吹扫，并等待下一检

测工序的开始。

检测完毕的超纯气体管路系统

四、 气密性试验 1、 仪器及设备

杜瓦罐或高压气瓶、调压阀组、高精度压力表（仪表应在校验有效期内）、与被测试管道同材质的备用接头和阀门等（用于与管路系统连接）。 2、测试介质

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超纯气体管道和纯水管路检漏测试

高纯氮气或高纯氩气，其纯度应满足设计要求或工艺使用要求。 3、测试环境

符合设计洁净要求，环境温度波动幅度宜控制在规定范围以内，以避免对管道气体压力带来干扰。 4、测试方法

将被测管路一端通过调压阀组与气瓶紧密连接，管路其他出口封堵，向管路注入高纯气体，将试验压力调至设计压力，保压24h，压力表显示无压降或压降不超过规定值，则可判定管路无渗漏。测试示意图如下：

压力观测点氮气瓶备检管道封闭的待检测管路 高纯氮气

当有明显压降时，可用专用发泡剂涂抹在焊口表面，进行逐个筛查。（如下图）

五、 氦检漏 1、仪器及设备

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超纯气体管道和纯水管路检漏测试

氦质谱检漏仪，氦气瓶，调压阀组，仪器应在校验有效期内。

氦质谱检漏仪 技术指标： 电源：220V±10％ 8A 仪器轮廓：520(W)×550(D)×900(H) 最小可检漏率：5×10-11 Pa.m3/s 漏率显示范围: 2×10-11--9.8×10-5 Pa.m3/s(He) 启动时间:<10分钟 响应时间 :<4秒 产品说明： ZQJ-291是全自动操作的检漏仪。自动调零、自动校准和自动量程，使操作人员的干预减至最少。对于线性漏率显示及打印输出亦方便使用，自动故障显示对维修非常有用。 2、测试介质

高纯氦气，其纯度应满足设计要求或工艺使用要求。 3、测试环境

符合设计洁净要求，环境温湿度宜控制在规定范围以内。 4、测试方法

将被测管路一端通过调压阀组与检漏仪连接，管路其他出口用阀门或专用堵头封堵，利用检漏仪将被测管路系统抽真空，再以氦气喷吹管路外表面，重点是被测管路的各焊口处，依据检漏仪读数，可判定管路有无渗漏。测试示意图如下：

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超纯气体管道和纯水管路检漏测试 高纯气体进行喷吹，特别是焊口周围 备检管道氦气瓶管路抽真空 氦检漏仪 六、 填写相关检测资料

测试合格并完成后，填写检测报告，并由监理或业主方确认。

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超纯气体管道和纯水管路检漏测试

纯水管路泄漏性检测

一、概述

水站内管道试压一般分为三个部分： 1.

RO前管道强度试验合格后一般先用无油压缩空气进行气密性试验。

2.

RO至抛光床的管道强度试验合格后一般用高纯氮气或普通氮气试验。

3.

抛光床后的管道（一般是PVDF管和SUS316L管）强度试验合格后一般用超纯氮气进行气密性试验，一般要保压24小时，试压结束后必须进行杀菌处理。

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超纯气体管道和纯水管路检漏测试

二、一般流程

管道安装完毕，准备测试方案分析测试仪器和介质准备测试仪器与管路连接强度试验并合格管道检漏试验并合格管道杀菌管道冲洗测试资料签字和验收进行下一个检测工序

 管道安装完毕、准备测试：纯水管路系统安装完成，各焊口焊接完毕，阀门

安装到位；

 测试仪器和介质准备：根据设计和业主要求，按工艺确定测试项目和方案，

并准备测试用的材料、仪器和临时连接管路；

 测试仪器与管路连接：选择待测试管路，将测试仪器用临时连接管路与待测

试的管路连接。需要特别注意的是，临时连接管路的材料需与主管路材质保持一致或高一个级别。

 强度试验并检测合格：根据设计压力，将高纯气体注入待测管路，保持压力

为设计压力的1.1倍，并保持10分钟，检测有无压降并进行修复，直至合格并确认通过强度试验。

 管道检漏：一般根据纯水置备流程中管道的材质确定管道气密性试验的方

案。一般RO前管道用无油压缩空气进行气密性试验、RO至抛光床部分用高纯氮气或普通氮气进行气密性试验、抛光床后的管道用超纯氮气进行气密

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性试验；保压时间一般均为24小时。

 管道杀菌：用专用气动泵将一定浓度的双氧水注入管道，保持管道内双氧水

压力为正常工作压力,保压8小时，并沿管线检测有无泄漏情况。

 管道冲洗：双氧水杀菌结束后,，用超纯水（符合设计出水品质的超纯水）冲

洗管道2~3小时。

 测试资料签字和验收：强度测试和气密性测试合格后，应及时有监理或业主

签署测试报告；并等待系统进行下一检测工序的开始。

三、气密性试验 1、仪器及设备

无（微）油空压机、吸附式干燥机及附属过滤器，保证压缩空气品质达到含油量小于0.01PPM；杜瓦罐或高压气瓶、调压阀组、高精度压力表（仪表应在校验有效期内）、配套的临时连接的管件及阀门等； 2、测试介质

无油压缩空气、高纯氮气，其纯度应满足设计要求或工艺使用要求。 3、测试环境

环境温度波动幅度宜控制在规定范围以内，以避免对管道气体压力带来干扰。 4、测试方法

将被测管路一端通过调压阀组与空压机组或气瓶紧密连接，管路其他出口封堵，向管路注入无油压空或高纯气体（根据管路为止确定选择何种方式），将试验压力调至设计压力，保压24h，压力表显示无压降或压降不超过规定值，则可判定管路无渗漏。测试示意图如下：

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超纯气体管道和纯水管路检漏测试

压力观测点氮气瓶备检管道封闭的待检测管路 高纯氮气

四、管道杀菌

用专用气动泵将一定浓度的双氧水从纯水管路系统预留的双氧水注入口注入管道，并保持管道内双氧水压力为正常工作压力，保压8小时，并沿管线检测有无泄漏情况。在进行双氧水管路杀菌时，一定要沿管线设置好警示和标识，防止泄漏出双氧水造成伤害。

五、管道冲洗

管道杀菌完毕后，用符合系统设计出水品质的超纯水冲洗管路系统2－3小时，并排空冲洗用水。

至此，管路系统的气密性测试和冲洗完毕，可进入系统的下一检测工序。

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超纯气体管道和纯水管路检漏测试

我公司类似项目业绩

超纯气体管道检漏测试业绩

1． 上海新进半导体 2． 上海华虹NEC 3． 杭州士兰微电子 4． 无锡华润上华微电子 5． 深圳深爱半导体 6． 北京电子十一所 7． 上海广电NEC

8． 苏州英飞凌电子有限公司

纯水管道检漏测试业绩

1． 上海先进半导体 2． 上海华虹NEC 3． 中芯国际上海有限公司 4． 苏州和舰电子有限公司 5． 中芯国际北京有限公司 6． 上海广电NEC

7． 上海日月光半导体有限公司

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