专利名称:一种内圆切割机的晶棒夹具专利类型:实用新型专利发明人:张琦,吕志萍
申请号:CN201720760832.2申请日:20170628公开号:CN206855799U公开日:20180109
摘要:本实用新型公开了一种内圆切割机的晶棒夹具,包括底座,所述底座中心处设有垫台,所述垫台中心处设有圆台,所述圆台中心处设有凹槽,所述凹槽内固接有连杆,所述连杆一端深入凹槽内,另一端固接连接块;所述连接块的内腔截面为菱形,所述菱形的两条对角线的长度不一,长对角线的长度是短对角线长度的1.2~1.8倍;所述连接块的四边设有定位柱。本结构的内圆切割机晶棒夹具能够有效降低切割时产生的震动,使得夹具和夹具连接处不易变形和松动,确保夹具可以更可靠的被固定于切割机上,保持晶棒和道具的相对位置稳定,不受加工震动的影响,有效提高晶棒的加工精度。
申请人:安徽火天晶体科技有限公司
地址:244000 安徽省铜陵市铜陵开发区翠湖二路中科大创业园4号楼
国籍:CN
代理机构:铜陵市天成专利事务所
代理人:范智强
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示,请点此查看更多更全内容