一种Zr-B-O-N纳米复合涂层制备工艺

（12）发明专利说明

（21）申请号 CN2017101099.8 （22）申请日 2017.02.27

（71）申请人 天津职业技术师范大学

地址 300222 天津市津南区大沽南路1310号,天津职业技术师范大学机械学院

（10）申请公布号 CN1063991B

（43）申请公布日 2019.03.15

书

（72）发明人 王铁钢;杨祖兵;阎兵;郭玉垚;刘艳梅;范其香;李彤 （74）专利代理机构 天津创智天诚知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人 王海滨

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（）发明名称

一种Zr-B-O-N纳米复合涂层制备工艺

（57）摘要

本发明涉及硬质涂层及其制备技术，具体

地说是一种Zr‑B‑O‑N纳米复合涂层及其制备工艺，采用高功率脉冲和脉冲直流磁控共溅射技术在金属或合金基体上沉积Zr‑B‑O‑N涂层。为提高涂层中Zr元素含量，靶材分别选用金属Zr和化合物ZrB

法律状态

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态

法律状态公告日

2017-06-27 2017-06-27 2017-06-27 2017-06-27 2017-07-21 2017-07-21 2017-07-21 2019-03-15 2019-03-15 2020-07-24

法律状态信息

公开 公开 公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效 实质审查的生效 授权 授权

专利实施许可合同备案的生效、变更及注销

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权利要求说明书

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说明书

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