1、租用厂房被征收的，承租人可通过向出租人主张相应补偿费用的方式，来维护自身的合法权益。2、如果出租人不愿意支付相关费用的，承租人可依法向人民提起民事诉讼。
法律依据
《国有土地上房屋征收与补偿条例》第十七条 作出房屋征收决定的市、县级对被征收人给予的补偿包括：
（一）被征收房屋价值的补偿；
（二）因征收房屋造成的搬迁、临时安置的补偿；
（三）因征收房屋造成的停产停业损失的补偿。
市、县级应当制定补助和奖励办法，对被征收人给予补助和奖励。
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