基于白光干涉光谱的同步相移测量系统与方法[发明专利]

来源：六九路网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：基于白光干涉光谱的同步相移测量系统与方法专利类型：发明专利

发明人：郭彤,袁琳,边琰,陈卓,傅星,胡小唐申请号：CN201910395069.1申请日：20190513公开号：CN110186388A公开日：20190830

摘要：本发明提供基于白光干涉光谱的同步相移测量系统，包括：光源单元、测量干涉单元、图像探测单元、光谱干涉单元和数据处理单元；其中所述光源单元对照明光源生成偏振光源信号；所述测量干涉单元对偏振光源信号处理生成测量偏振光源信号P和参考偏振光源信号S；所述图像探测单元将测量偏振光源信号P和参考偏振光源信号S一部分通过CCD相机前的检偏器形成干涉，被CCD相机探测处理，一部分传输给所述光谱干涉单元；所述光谱干涉单元对部分的振光源信号P和参考偏振光源信号S再次分光生成具有90°相位差的干涉信号传输给数据处理单元，该系统通过引入空间相移，对具有90°相位差的两帧光谱干涉信号进行分析，实现对表面形貌的快速高精度测量。

申请人：天津大学

地址：300072 天津市南开区卫津路92号

国籍：CN

代理机构：天津市北洋有限责任专利代理事务所

代理人：韩帅

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