专利名称：利用氧化铝锌靶材制备多层薄膜的方法专利类型：发明专利发明人：杨能辉,林俊荣申请号：CN201110281464.0申请日：20110921公开号：CN103021822A公开日：20130403
摘要：本发明涉及一种使用氧化铝锌靶材制备多层薄膜的方法，其是将氧化铝锌靶材于氩气及硫化氢气体中溅镀于一可供制作太阳能电池的具有铜铟镓硒层的基材上，以生成ZnOS薄膜，作为缓冲层；再将氧化铝锌靶材于氩气及氧气中溅镀于该缓冲层上，以生成高阻值的氧化铝锌薄膜，作为透光层；再将氧化铝锌靶材直接溅镀于透光层上后，以生成氧化铝锌薄膜，作为电极导电层。本发明仅需利用一种氧化铝锌靶材于同一反应腔体中，于不同气体下溅镀，即可于一太阳能电池的基材上生成不同成分的薄膜作为缓冲层、透光层及导电层，而应用于太阳能电池的制造。
申请人：光洋应用材料科技股份有限公司
地址：中国台湾台南市
国籍：CN
代理机构：北京三友知识产权代理有限公司
代理人：韩蕾
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