专利名称：扫描用反射镜专利类型：发明专利发明人：工藤裕
申请号：CN201611183570.4申请日：20161220公开号：CN106975838A公开日：20170725
摘要：本发明提供一种扫描用反射镜，其抑制驱动时的镜座的挠曲，实现聚光特性的提高。本发明的扫描用反射镜(14)具有镜座(16)和形成在镜座(16)上的反射膜(17)。镜座(16)由比刚性的值为至少100[GPa·cm/g]以上的非金属材料形成，该比刚性的值由杨氏模量[GPa]和密度[g/cm]规定。
申请人：株式会社迪思科
地址：日本东京都
国籍：JP
代理机构：北京三友知识产权代理有限公司
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