一种固体激光器的光路调整装置[实用新型专利]

(12)实用新型专利

(10)授权公告号 CN 207303647 U(45)授权公告日 2018.05.01

(21)申请号 201721329649.3(22)申请日 2017.10.14

(73)专利权人 深圳市龙图光电有限公司

地址 518000 广东省深圳市宝安区沙井街

道新玉路北侧圣佐治科技工业园4#厂房一楼(72)发明人 叶小龙　侯广杰　

(74)专利代理机构 深圳市徽正知识产权代理有

限公司 44405

代理人 李想(51)Int.Cl.

H01S 3/10(2006.01)

权利要求书1页 说明书2页 附图1页

CN 207303647 U(54)实用新型名称

一种固体激光器的光路调整装置(57)摘要

本实用新型公开了一种固体激光器的光路调整装置，包括水平X方向位置调整组件、水平Y方向位置调整组件、垂直Z方向位置调整组件和垂直角度调节组件；水平X方向位置调整组件用于调整固体激光器水平X方向的位移，水平Y方向位置调整组件用于调整固体激光器水平Y方向的位移，垂直Z方向位置调整组件用于调整固体激光器垂直Z方向的位移，垂直角度调节组件用于调整固体激光器所发射的光点角度；由于采用了XYZ三个方向位置调整组件和一个垂直角度调节组件，满足了固体激光器所发射出的光点全方向、不同空间角度的调整适配，与光刻机的光学系统全方位相适应，实现了快速、准确调整固体激光器所发射出的光点位置、角度与光刻设备的光学系统精确匹配。

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权　利　要　求　书

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1.一种固体激光器的光路调整装置，其特征在于，包括：水平X方向位置调整组件、水平Y方向位置调整组件、垂直Z方向位置调整组件和垂直角度调节组件；所述水平X方向位置调整组件用于调整固体激光器水平X方向的位移，所述水平Y方向位置调整组件用于调整固体激光器水平Y方向的位移，所述垂直Z方向位置调整组件用于调整固体激光器垂直Z方向的位移，所述垂直角度调节组件用于调整固体激光器所发射出的光点角度。

2.根据权利要求1所述的固体激光器的光路调整装置，其特征在于：所述水平X方向位置调整组件、水平Y方向位置调整组件、垂直Z方向位置调整组件和垂直角度调节组件均设置在一平台底座之上，并均位于所述固体激光器的下方。

3.根据权利要求2所述的固体激光器的光路调整装置，其特征在于：所述平台底座采用大理石板或者不锈钢板制作。

4.根据权利要求1所述的固体激光器的光路调整装置，其特征在于：所述固体激光器的底部设置有一减震垫，该减震垫位于水平X方向位置调整组件、水平Y方向位置调整组件、垂直Z方向位置调整组件和垂直角度调节组件的上方。

5.根据权利要求4所述的固体激光器的光路调整装置，其特征在于：所述减震垫采用橡胶板制作。

6.根据权利要求1所述的固体激光器的光路调整装置，其特征在于：所述垂直角度调节组件的固定端设置在一支架稳定组件上，该支架稳定组件位于所述固体激光器前端的下方。

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说　明　书

一种固体激光器的光路调整装置

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技术领域

[0001]本实用新型涉固体激光器的辅助设备领域，尤其涉及的是一种固体激光器的光路调整装置。

背景技术

[0002]在光学掩模板制版行业，通常都需要调整更换或维护过程中的固体激光器所发射出的光点位置、角度与光刻设备的光学系统相匹配。所谓的掩模板指的是一种由表面金属薄膜记载图形、文字等信息的玻璃载板。而本文中的固体激光器指的是制作掩模板的光刻设备专用的激光发生器。

[0003]传统的调整方法或者采用三点式调节方法，或者采用手动对齐方法。但是，这些传统的调整方法调整时间长，而且光点的偏差角也没法实现精确调整。[0004]因此，现有技术尚有待改进和发展。实用新型内容

[0005]为解决上述技术问题，本实用新型提供一种固体激光器的光路调整装置，可快速调整并准确实现固体激光器所发射出的光点位置、角度与光刻设备的光学系统相匹配。[0006]本实用新型的技术方案如下：一种固体激光器的光路调整装置，包括：水平X方向位置调整组件、水平Y方向位置调整组件、垂直Z方向位置调整组件和垂直角度调节组件；所述水平X方向位置调整组件用于调整固体激光器水平X方向的位移，所述水平Y方向位置调整组件用于调整固体激光器水平Y方向的位移，所述垂直Z方向位置调整组件用于调整固体激光器垂直Z方向的位移，所述垂直角度调节组件用于调整固体激光器所发射出的光点角度。

[0007]所述的固体激光器的光路调整装置，其中：所述水平X方向位置调整组件、水平Y方向位置调整组件、垂直Z方向位置调整组件和垂直角度调节组件均设置在一平台底座之上，并均位于所述固体激光器的下方。

[0008]所述的固体激光器的光路调整装置，其中：所述平台底座采用大理石板或者不锈钢板制作。

[0009]所述的固体激光器的光路调整装置，其中：所述固体激光器的底部设置有一减震垫，该减震垫位于水平X方向位置调整组件、水平Y方向位置调整组件、垂直Z方向位置调整组件和垂直角度调节组件的上方。

[0010]所述的固体激光器的光路调整装置，其中：所述减震垫采用橡胶板制作。[0011]所述的固体激光器的光路调整装置，其中：所述垂直角度调节组件的固定端设置在一支架稳定组件上，该支架稳定组件位于所述固体激光器前端的下方。[0012]本实用新型所提供的一种固体激光器的光路调整装置，由于采用了XYZ三个方向位置调整组件和一个垂直角度调节组件，满足了固体激光器所发射出的光点全方向、不同空间角度的调整适配，与光刻机的光学系统全方位相适应，实现了快速、准确调整固体激光

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器所发射出的光点位置、角度与光刻设备的光学系统精确匹配。

附图说明

[0013]图1是本实用新型固体激光器的光路调整装置实施例的结构示意图。

具体实施方式

[0014]以下将结合附图，对本实用新型的具体实施方式和实施例加以详细说明，所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并非用于限定本实用新型的具体实施方式。[0015]如图1所示，图1是本实用新型固体激光器的光路调整装置实施例的结构示意图，该光路调整装置包括水平X方向位置调整组件130(图中标号所指为该调整组件的旋钮位置)、水平Y方向位置调整组件140(图中标号所指为该调整组件的旋钮位置)、垂直Z方向位置调整组件150(图中标号所指为该调整组件的旋钮位置)和垂直角度调节组件160；其中，所述水平X方向位置调整组件130用于调整固体激光器180水平X方向的位移，所述水平Y方向位置调整组件140用于调整固体激光器180水平Y方向的位移，所述垂直Z方向位置调整组件150用于调整固体激光器180垂直Z方向的位移，所述垂直角度调节组件160用于调整固体激光器180所发射出的光点角度。

[0016]本实用新型固体激光器的光路调整装置由于采用了XYZ三个方向位置调整组件和一个垂直角度调节组件，满足了固体激光器所发射出的光点全方向、不同空间角度的调整适配，与光刻机的光学系统全方位相适应，实现了快速、准确调整固体激光器所发射出的光点位置、角度与光刻设备的光学系统精确匹配。

[0017]在本实用新型固体激光器的光路调整装置的具体实施方式中，所述水平X方向位置调整组件130、水平Y方向位置调整组件140、垂直Z方向位置调整组件150和垂直角度调节组件160均设置在一平台底座110之上，并均位于所述固体激光器180的下方。[0018]具体的，所述平台底110可采用密度较大的板材加工成形，较好的是，所述平台底座110采用大理石板或者不锈钢板制作，以过滤或吸收外界震动的能量，保证整个光路调整装置的稳定性。

[0019]在本实用新型固体激光器的光路调整装置的具体实施方式中，所述固体激光器180的底部还设置有一减震垫170，该减震垫170位于水平X方向位置调整组件130、水平Y方向位置调整组件140、垂直Z方向位置调整组件150和垂直角度调节组件160的上方。[0020]具体的，所述减震垫170采用橡胶板制作，以进一步过滤或吸收外界震动的能量，确保整个光路调整装置的稳定性。[0021]较好的是，所述垂直角度调节组件160的固定端设置在一支架稳定组件120上，该支架稳定组件120位于所述固体激光器180前端的下方，以进一步稳定和精确调整固体激光器180所发射出的光点角度。[0022]应当理解的是，以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不足以限制本实用新型的技术方案，对本领域普通技术人员来说，在本实用新型的精神和原则之内，可以根据上述说明加以增减、替换、变换或改进，而所有这些增减、替换、变换或改进后的技术方案，都应属于本实用新型所附权利要求的保护范围。

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图1

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