专利名称：在球面面形干涉检测中高精度消除调整误差的方法专利类型：发明专利
发明人：张金春,汪凯巍,白剑,吴永前申请号：CN201210067769.6申请日：20120315公开号：CN102589472A公开日：20120718
摘要：本发明公开了一种在球面面形干涉检测中高精度消除调整误差的方法，该方法首先通过干涉仪获得包含调整误差的波面数据，并测量待测球面曲率半径和口径作为去除调整误差的辅助数据；待测球面半径的测量采用单频激光干涉法，口径的测量用游标卡尺；调整误差的去除采用最佳拟合理想球面模型；通过此模型找到理想球面的位置和半径，并移动干涉仪测得的波面使其中心与理想球面球心重合；本发明通过对球面干涉检测的研究，提供了一种光学元件球面面形检测中消除调整误差的新方法，对高精度光学元件的检测与加工具有重要的应用价值。
申请人：浙江大学
地址：310058 浙江省杭州市西湖区余杭塘路388号
国籍：CN
代理机构：杭州求是专利事务所有限公司
代理人：周烽
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