专利名称：一种ITO靶材注浆成型工艺的浆料的制备方法专利类型：发明专利发明人：李强,李康
申请号：CN202110070023.X申请日：20210119公开号：CN112608143A公开日：20210406
摘要：本发明涉及一种光电材料的制备成型领域，具体涉及一种ITO靶材注浆成型工艺的浆料的制备方法。本发明通过机械混合、气流粉碎、砂磨和真空处理四个步骤将氧化和氧化锡粉末制备成ITO浆料，所得到的ITO浆料可以直接用于ITO靶材的制备加工。本发明方法具有制备时间短、浆料污染小、制得的浆料粉体粒径范围小等优点。
申请人：福州大学
地址：350108 福建省福州市闽侯县福州大学城乌龙江北大道2号福州大学
国籍：CN
代理机构：福州元创专利商标代理有限公司
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