专利名称:具有高维持电压的SCR ESD保护结构专利类型:发明专利
发明人:易扬波,杨东林,祝靖,王钦,刘侠申请号:CN200910212765.0申请日:20091109公开号:CN101764151A公开日:20100630
摘要:一种具有高维持电压的静电放电防护SCR结构,形成于一器件上,所述器件包括包含P型衬底,在P型衬底上设有N型掩埋层,在N型掩埋层上设有N型阱,在P型衬底上还设有与N型阱平行的P型阱。在N型阱中设有第一N+掺杂区和第一P+掺杂区,第一N+掺杂区和第一P+掺杂区通过接触孔引出并连接在一起,作为器件的阳极,在P型阱中设有第二N+掺杂区和第二P+掺杂区,第二N+掺杂区和第二P+掺杂区通过接触孔引出并连接在一起,作为器件的阴极。SCR结构便由N型阱中的P+掺杂区,N型阱区域,P型阱区域,P型阱中的N+掺杂区构成,它通过P型衬底和N型阱之间的掩埋层来增加维持状态下的N阱电阻,从而增加了维持电压。
申请人:苏州博创集成电路设计有限公司
地址:215123 江苏省苏州市苏州工业园区独墅湖林泉街399号1号楼3层
国籍:CN
代理机构:南京经纬专利商标代理有限公司
代理人:楼高潮
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