专利名称：一种微测辐射热计及其制备方法专利类型：发明专利
发明人：许向东,蒋亚东,周东,杨书兵,王志,王晓梅申请号：CN201010104941.1申请日：20100203公开号：CN101774530A公开日：20100714
摘要：一种微测辐射热计，包括微桥结构，该微桥结构中的热敏电阻材料和红外吸收材料层为碳纳米管-非晶硅复合膜，该碳纳米管-非晶硅复合膜是由一维碳纳米管和两维非晶硅薄膜复合而成，另该微桥结构为三层夹心结构：最底层是非晶氮化硅薄膜，作为微桥的支撑与绝缘材料；中间层是一层或者多层碳纳米管-非晶硅复合膜，其应力与底层氮化硅膜的性质相反，作为微测辐射热计的热敏感层和红外光吸收层；表层是非晶氮化硅薄膜，其应力与中间碳纳米管-非晶硅复合膜的性质相反，作为红外敏感薄膜的钝化层以及应力的调控层。该微测辐射热计及其制备方法能克服现有技术中所存在的缺陷，提高了器件的工作性能，降低了原料成本，适宜大规模产业化生产。
申请人：电子科技大学
地址：611731 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号
国籍：CN
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